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GePIN相关论文
SOI基垂直入射Ge PIN光电探测器的研制
研制了在SOI衬底上工作于近红外波段的垂直入射GePIN光电探测器。采用低温Ge缓冲层技术,在超高真空化学气相淀积系统(UHV/CVD)上生......
期刊
光电探测器
SOI
Ge PIN
垂直入射
共振增强效应
张应变
锗(Ge)
响应度
高反射率
暗电流
采用Al/TaN叠层电极提高Si基Ge PIN光电探测器的性能
金属与Ge材料接触由于存在强烈的费米钉扎效应,导致金属电极与n型Ge接触引入较大的接触电阻,限制了Si基Ge探测器响应带宽.本文报道......
期刊
光电探测器
Al/TaN
Ge PIN
Si
电极
接触电阻
暗电流
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响应度
势垒高度
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